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Surfscan SP7
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KLA-Tencor缺陷檢測系統可解決製程和設備監控關鍵挑戰
Surfscan SP7 系統為裸晶圓、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺陷檢測靈敏度,這對於製造用於7nm邏輯和高級記憶體器件節點的矽基底非常重要,同時也是在 ...
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