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KLA텐코, 웨이퍼 검사 및 리뷰 제품군 6종 출시 - 테크월드뉴스

... 레이저 스캐닝 검사기, CIRCL5 모든 표면 검사 클러스터, Surfscan SP5 비패턴 웨이퍼 검사기 및 eDR7280 전자빔 리뷰 및 분류 장비가 포함된다.

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