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(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A)

한편, 15nm 이하의 사이즈의 결함의 측정이 가능한 파티클 카운터로는, 예를 들. 어, KLA-Tencor사제 SurfScan SP5 등을 들 수 있다. [(3)공정]. [0045].

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