Surfscan SP5 无图案晶圆检测仪使用了更先进的DUV 光学技术,提供了量产产出速度下缺陷灵敏度达20奈米以下,可侦测微小晶圆表面或薄膜制程后的缺陷,避免这些缺陷对多层 ...
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