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KLA-Tencor新品連發晶圓缺陷檢測/監控一網打盡 - 新電子雜誌

Surfscan SP5 無圖案晶圓檢測儀採用擴展型DUV技術和創新演算法，創造出新型作業模式，對於以具有成本效益的方式及早偵測出相關隨機底材或薄膜缺陷與偏差至 ...

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