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16奈米及以下製程節點的良率與成本(2) - EDN Taiwan

Surfscan SP5 無圖形(unpatterned)晶圓檢測系統透過檢測微小的原片缺陷來幫助避免良率問題，這些缺陷可能扭曲先進3D元件(如FinFET電晶體和垂直NAND快閃 ...

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