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聯電與KLA聯合開發氮化矽測試片的再生晶圓技術 - 人人焦點

*SurfscanSP3 和Surfscan SP5，均爲科磊KLA 公司旗下的無圖案晶圓表面檢測系統，不僅產量高也具有DUV 靈敏度，SP3 適用於2Xnm 設計節點的IC、基板和 ...

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