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标准颗粒沉积晶圆 - 仪器信息网

标准颗粒沉积晶圆是NIST可追溯的颗粒晶圆标准，包括尺寸证书，沉积有单分散二氧化硅纳米颗粒和30 nm和2.5微米之间的窄尺寸峰，以校准KLA-Tencor Surfscan SP3，SP5 ...

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