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KLA-Tencor推出检测新品瞄准16nm市场- 电子信息产业网
Surfscan SP5 无图案晶圆检测仪采用增强型DUV 光学技术,能够以量产产能提供20nm 以下的缺陷灵敏度,使检测细微基板或覆膜缺陷成为可能,以免这些缺陷 ...
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