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Standing Wave Effect in Photolithography Improvement - CORE

Abstract. 微影技術是將電路圖案轉移至光阻劑上的一種方法，保持圖案轉移輪廓的不失真是微影製程的一大重點。然而，當光進入不同介質界面時會產生界面的反射，且反射的 ...

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