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機械工程學系 - 國立交通大學機構典藏

液、氣三態，因此電漿又稱為物質的第四態；對氣體施加高溫或高能，. 賦予電子能量使其加速碰撞中性粒子 ... 理(Soak)及冷卻(Cool)三個製程程序，氫氣前處理之參數設定.

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