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离子注入机：半导体四大核心装备之一 - 全网搜

由于热扩散存在精度较难控制、高热热缺陷等缺点，在现在的工艺中已经较少采用。 离子注入法：通过离子注入机 ... 以及由Skoda提供的相应版本的Scala。

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