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濕式拋光(如CMP等等)

... 基板(Al2O3)，高速通訊設備SAW等濾波用的鉭酸鋰基板(LiTaO3)/鈮酸鋰基板(LiNbO3)和用於功率元件的碳化矽基板(SiC)等，為了提升元件效能，背面研磨後會進行拋光。

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