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電子/半導體SOG spin on glass coating。旋轉塗佈玻璃。 - 解釋頁

為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式，均勻地塗佈在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞。

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