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spin-on glass; SOG - 旋寶好企業

旋塗式玻璃SOG (Spin-on glass)是液態SiO2，晶片旋塗SOG後可增加平坦性。為將SOG轉換成固態SiO2層，必須將晶片置於400~450°C的爐管，蒸除SOG內的溶劑

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