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新型SOG的特性及其在次微米平坦化技術的應用 - 國立交通大學 ...

標題: 新型SOG的特性及其在次微米平坦化技術的應用. CHARACTERISTICS AND APPLICATIONS OF NEW SILOXANE SOG IN SUBMICRON PLANARIZATION TECHNOLOGY. 作者: 吳宗松

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