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Array段物理氣相沈積設備_SMD

Array段物理氣相沈積設備_SMD. 成功導入ANTS磁流體軸封於ULVAC ARRAY段用大型濺鍍設備，適用於大氣/真空銜接腔體、高溫製程腔體及玻璃載具旋轉腔體等場所. 詳細說明.

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