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SF6 缺點
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金屬蝕刻殘留物對蝕刻物種密度和均勻性的影響
通過所謂的漂浮樣品的x射線光電子能譜分析來分析室壁,並且通過光發射光譜來監測Cl2、HBr、O2和SF6等離子體中的Cl、Br、O和F的密度,測量300毫米矽片 ...
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