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SF6 缺點
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成果報告資料顯示 - 工程科技推展中心
... 漿表面改質技術,以CHF3、CF4 與SF6 三種F 原子來源對未處理的親水碳布進行改質,改善以往利用鐵氟龍塗佈技術製備的多孔性氣體擴散層於氣體流動率及電阻性的缺點。
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