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蝕刻技術

天上的缺點，也就是其蝕. 刻結構的形狀是各方向均. 勻的，這樣會造成嚴重的. 側向腐蝕現象，顯著地限 ... O2、SF6，ICP RF最大. 功率900W，Bias RF最. 大功率300W，.

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