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通SF6與N2O之氧化鈦薄膜能隙變化之研究

但他的缺點就是在日常生活中能夠使二氧化鈦激發的紫外光（388nm以下）比例不高， ... 首先使用六氟化硫（SF6）為離子源助鍍，但是氧化鈦薄膜能隙沒有明顯的變化。

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