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SEMI EDA/介面A標準概要 - Cimetrix

EDA並不取代SEMI GEM/SECS標準(E4、E5、E30及E37)或者SEMI GEM300標準(E39、E40、E87、E90、E94、E116、E148及E157)，原因是EDA並不提供任何設備控制或組態設定的特性。

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