(一) 碳化矽晶圓產品規格( SiC Wafer Specification) ; 多型, 不允許 ; 電阻率, ≧ 1E7Ω‧cm ; 厚度, 500.μm±25.μm或350.0μm±25.μm ; 總厚度變化, ≦10μm ; 彎曲值(絕對值), ≦ ...
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