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SEMI S2/S8 - 半導體設備SEMI認證
SEMI S2 準則定義出最低效能導向的安全性準則。這些需求的範疇包括可能的健康及安全危害,如機械、電氣、化學、游離與非游離輻射、防震、通風、環保及人因工程。
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