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6가지 개별적 SEMI 표준

E84 구현은 핸드쉐이크 프로토콜로, AMHS 차량(AGV, OHT, PGV, RGV)과 장비간 캐리어의 안전한 이송을 보장합니다. E87(캐리어 관리)은 장비에 차후 ...

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