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設備通訊與數位化製造——半導體行業通信標準SECS/GEM最 ...

SEMI E30 GEM定義了一組最低要求、附加(可選)功能、用例和部分SECS-II消息的用戶場景。 SECS/GEM是在設備上實現的，工廠使用它來實現命令和控制功能。由於 ...

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