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TTS-3000 EFEM（3工位EFEM） - 洁净机器人 - 新松机器人

一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制。 ... 软件界面设计参考标准. SEMI E30, E84 ...

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