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SEMI E30 GEM Standard Archives | FAB Automation - eInnoSys

有关标准的完整参考，请参阅SEMI。 什么是SECS/GEM？ 一SECS（SEMI设备通信标准）和GEM（制造设备通信与控制的通用模型）标准由半导体制造商的国际组织SEMI.org发布和 ...

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