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三菱電機SECS/GEM通信軟體預裝系統 - 能麒企業股份有限公司

無需閘道電腦就可以報告大量設備的製程資料，使現有設備線上化。 支援通信協定: SECS-I(SEMI E4)、HSMS(SEMI E37)、SECS-II(SEMI E5)、GEM(SEMI E30) ...

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