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SECS/GEM 介紹- 智連工控Adirtek

SECS/GEM 是SEMI 所制定的設備通訊標準與通用設備模型。 ... 的時候， 習慣上通常包含了SEMI E4 (SECS-I)、 SEMI E5 (SECS-II)、 SEMI E30 (GEM) 和SEMI E37 (HSMS)。

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