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場發射掃描式電子顯微鏡Sem 國立中興大學前瞻理工科技研究 ...

在般材料分析應用中比較熟知的掃描式電子顯微鏡SEM ，主要目的是觀察表面的高低起伏形貌或尺寸量測 ... 反倒是在最表面的幾個原子層數奈米的厚度汙染卻是很難被偵測到的。

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