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SEM 缺點
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EUV光刻:在随机悬崖边缘行走
最容易使用的工具是CD-SEM(一种扫描电子显微镜),CD-SEM可被用于各种缺陷的检测,但缺点在于观察面积有限,一片完整的晶圆扫描下来需要几个月。
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