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SEM 缺點
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掃描穿隧顯微術 - 中研院物理所
當然,STM也有些缺點,如不導電樣品或表面高度落差過大的材料就不適用。況且,STM掃描速度仍比不上SEM,產品成熟度及穩定性也還不夠;這些主要是因STM技術發展時間尚 ...
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