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SEM 缺點
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https://technews.tw/2021/09/14/ist-sep-semiconductor-defects/
如何利用表面分析工具,抓出半導體製程缺陷
在一般材料分析應用中比較熟知的掃描式電子顯微鏡(SEM),主要目的是觀察 ... 可在樣品表面鍍一層金屬做導電,造成無法分析絕緣樣品為其最大的缺點。
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