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SECS/GEM通信协议学习笔记- 七星望 - 博客园

了解下半导体设备现场的通讯协议，对于GEM的开发是半导体设备管理/生产/维护软件的一部分。 SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议 ...

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