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以逆滲透方法回收氫氟酸廢水之最佳條件探討
... 放流水標準」中氟化物(不包括複合離子)的排放標準15.0mg/l,且半導體的用水量相當龐大,故半導體廠開始採逆滲透(RO)來回收氫氟酸廢水,但其回收效率普遍不理想。
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