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高密度電漿(High Density Plasma) | ..:: 馗鼎奈米科技股份有限 ...

其工作原理，如圖2-4 [42]所示。於銅線圈上加上一高頻電源（RF power supply），當線圈上之電流隨時間作變化時， 由式5 ...

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