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高密度電漿輔助化學氣相沉積系統(Inductively Coupled Plasma ...

因ICP之耦合方式係藉由磁場所產生，由電磁理論得知其電場，即離子加速方向，是以環繞此一磁場且平行於晶圓表面之切線方向，所以當輸入之功率(通常以RF ...

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