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RF DC 濺鍍
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[問題] 請問共濺鍍的相關問題- 看板ChemEng
各位版友好,小弟最近在做畢業專題實驗有遇到一些問題目前我是用三靶磁控共濺鍍平衡DC靶:Ta 平衡RF靶:Ag 非平衡RF靶:Ga2O3.
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