Fig. 2.為本實驗製程示意圖,Ti-10Cr靶及純矽靶分別接上HiPIMS及射頻(RF) 電源,本實驗使用的試片種類包括AISI420不銹鋼及P型(100) 單晶矽晶片,並改變RF功率以鍍製不同矽 ...
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