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AFM-原子力顯微鏡(奈米壓痕)奈米科技應用介紹

當積體電路持續縮小化，內連線的RC時間延遲 【註1】 成為限制元件性能的主要原因之一[4]，所增加的RC時間延遲 ... 尤其是對含有各種半衰期很長的放射性廢料固化物而言。

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