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晶圓的製作

外質吸除（extrinsic gettering, EG）：. – 於表面生成一層多晶矽. – 於晶圓背面形成氮化矽晶粒邊界. – 晶圓背面以機械方式摩擦. – 以雷射光束照射晶圓背面.

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