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物理气相沉积（PVD）技术 - Evatec AG

根据您的应用、基板形式和产量要求，我们提供一系列批量式、集群式和连续式平台架构，配备蒸镀，溅镀，刻蚀和PECVD源科技，得益于50多年的工艺和专业生产技术。

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