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應材推出CVD/PVD新技術| SEMI

應材推出CVD/PVD新技術. 新聞來源: 工商時報(2014.6.10). 全球最大半導體設備廠應用材料宣布推出Endura Volta化學氣相沉積(CVD)鈷金屬系統,藉由鈷金屬來包覆銅 ...

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