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半導體光電研究室PVD設備

負責人. 連絡分機. 開放等級. PVD設備. 電子鎗真空蒸鍍系統 (E-Gun System). 正常. 劉仲達. 34048. 直流式真空濺鍍系統（DC Sputter System）.

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