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PVD 簡述 - 永源科技

其中物理氣相沉積有快速的沉積速率以及較精準的膜厚控制，藉由該鍍膜系統搭配的合金靶材可以控制薄膜的成份及比例，所以PVD是目前工業最為常用的鍍膜技術，而PV...

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