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PVD CVD 優缺點
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化學氣相沉積
有機金屬化學氣相沉積的優缺點優點: 使用「高真空」成本較低,適合工廠 ... 典型的CVD製程是將晶圓(基底)暴露在一種或多種不同的前趨物下,在基底 ...
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