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PVD CVD 優缺點
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https://books.google.com.tw/books?id=-nKxDwAAQBAJ&pg=PA542&lpg=PA542&dq=PVD+CVD+%E5%84%AA%E7%BC%BA%E9%BB%9E&source=bl&ots=vnVwiPCiol&sig=ACfU3U3OevQMVsw7gMNkBc-_M1ExpAuOIw&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwifoOCLicD5AhUhplYBHUHbCM4Q6AF6BQjEAhAD
109年機械製造學(含概要、大意) - 第 542 頁 - Google 圖書結果
缺點: 1.衝桿必須中空,所以強度較弱。 2.機器構造較為複雜,製品無法給予適當的支撐 ... 說明物理氣相蒸鍍(PVD)及化學氣相蒸鍍(CVD)兩種主要製作薄膜的製程及其優缺點。
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