... 並比較其優缺點。 8.何謂選擇比(selectivity)?其值是愈大愈好抑是愈小愈好?原因為何? 9.何謂 CVD?何謂 PVD?請各舉一例說明。 10.請比較 LPCVD 與 PECVD 的優缺點。
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