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PVD CVD 優缺點
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台積三廠組員:薛宇翔(組長)、巫文馨、蔡琬如、傅浩瑋(有事 ...
... 時,參觀了爐管,並知道熱擴散法和前面所說的離子佈植的差異,和其優缺點;在 ... 的帶領下依序參觀了薄膜、擴散和蝕刻部門,在薄膜部門時,我們瞭解到PVD、CVD的 ...
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